제올, 레이저 가공 기능 탑재한 주사전자현미경 '라즈엣지' 판매 개시

김형석 기자

작성일 2026-05-28 20:08

일본의 현미경 전문 기업 제올(JEOL Ltd.)이 레이저 가공 시스템을 통합한 주사전자현미경(SEM) 시스템 '라즈엣지(LazEdge)'를 개발하고 오는 2026년 5월 25일부터 본격적인 판매에 돌입한다고 밝혔다.

기존의 집속 이온 빔(FIB) 시스템과 같은 시편 전처리 장비는 연구 기관, 대학, 첨단 산업 분야에서 널리 활용되어 왔다. 최근에는 가공 표면의 품질을 유지하면서도 넓은 면적을 신속하게 가공할 수 있는 시스템에 대한 수요가 증가하는 추세다.

'라즈엣지'는 제올의 SEM 기술과 하마마츠 포토닉스(Hamamatsu Photonics K.K.)의 레이저 기술을 결합한 장비로, 전자현미경 시료 챔버 내부에서 직접 레이저 가공을 수행할 수 있는 것이 특징이다. 이를 통해 외부 대기에 시료를 노출시키지 않고도 고품질의 단면 시료를 확보할 수 있으며, SEM 관찰, 원소 분석, 결정 방위 분석 등 후속 분석으로의 연계를 원활하게 할 수 있다.

이 시스템은 금속 시료 분석, 대기 비노출 환경이 필수적인 배터리 분석, 반도체 불량 분석 등 다양한 분석 요구를 충족시킬 것으로 기대된다.

주요 특징으로는 △시료 챔버 내부에서의 고품질 단면 가공 △독자적인 차폐 기술 '라즈엣지 실드'를 통한 안정적이고 청결한 가공 △가공과 관찰을 동시에 수행하는 고효율 시스템 등이 꼽힌다. 특히 '라즈엣지 실드'는 가공 중 발생하는 파편 비산을 최소화하여 검출기, 컬럼, 시료 챔버 벽면의 오염을 방지하며, 가공과 실드 클리닝을 동시에 수행할 수 있게 한다.

제올은 '라즈엣지' 시스템을 통해 연간 10대 판매를 목표로 하고 있다.

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